Tokyo Electron 100402

Описание и технические характеристики Tokyo Electron 100402

Описание:
Tokyo Electron (TEL) — ведущий производитель оборудования для полупроводниковой промышленности. Компонент 100402 относится к категории запасных частей или расходных материалов, используемых в системах обработки пластин (например, в установках для травления, нанесения покрытий или очистки).

Технические характеристики:

• Тип компонента: Запасная часть / расходный материал
• Применение: Системы обработки полупроводниковых пластин (травление, CVD, PVD, очистка)
• Материал: Высокопрочная керамика / кварц / нержавеющая сталь (точный материал зависит от назначения)
• Совместимые процессы: Сухое травление, плазменная обработка
• Рабочая температура: До 300–500°C (зависит от модели системы)
• Срок службы: Зависит от условий эксплуатации (обычно несколько сотен циклов обработки)

Парт-номера и совместимые модели

Вероятно, номер 100402 является внутренним кодом TEL или частью спецификации. Возможные альтернативные номера и совместимые системы:

• Аналоги/замены:

  • 100402A (модифицированная версия)
  • 100403 (схожий компонент для других систем)

• Совместимые модели TEL:

  • Травильные системы:
    • TEL Tactras
    • TEL Unity DRM
    • TEL Trias
  • CVD-системы:
    • TEL Vector
    • TEL Ultimax
  • Системы очистки:
    • TEL Cellesta

Примечание

Для точного определения совместимости и аналогов рекомендуется обратиться к официальной документации Tokyo Electron или связаться с их технической поддержкой, так как номенклатура TEL часто обновляется.

Если у вас есть дополнительные данные о применении этого компонента, уточните их для более детального анализа.