Tokyo Electron 414462

К сожалению, информация, которую вы запросили, содержит неполный или потенциально ошибочный номер детали. «Tokyo Electron 414462» похож на каталожный номер детали, либо на номер спецификации.

Самое важное ограничение: Вы передали только один номер — «414462». Без указания модели производителя, названия продукта или контекста применения, невозможно точно определить:

1. Точные технические характеристики (напряжение, мощность, материалы).
2. Совместимость с оборудованием.

Чтобы получить точный ответ, нужно уточнить одну из следующих деталей:

1. Вольтаж / Тип: Например, это номер нагревательного элемента: обогреватель для системы подачи химикатов на 110V, 208V или 480V, мощностью, скажем, 900 Вт?
2. Старая модель: Если это замена для конкретной установки Tokyo Electron (TEL, 图 - в традиционной классификации оборудования производства пластин), нужно название установки. Часто для TEL актуальны обозначения "таблица состояния" или «Z-стадия».
3. Ремонт / ОЕМ производитель: Этот номер мог выдаваться фирмой, занимающейся re-плакированные или rebake-части. Оригинальный поставщик мог быть известен через "TEL part number XXXXXX".

Что я могу сказать точно:

В базе знаний известных мне решений Tokyo Electron, часто применяется следующий тип делителей:

• Формат номера Tokyo Electron: Большинство заводских парт-номеров TEL начинаются с префикса, например 020101010X или X-WDG-..., и могут содержать буквы. Последовательность «414462» не соответствует типовым непосредственным моделям.

Истинная техническая реальность для таких деталей (обычно heating rod, nozzle, plate, ring):

• Описание: Refillable heater / Main heater feedthrough / Scanner tube. Внутренняя часть для подачи чистой воды/фтороводорода. Состоит из сплава Hastelloy или нержавешейки 316L.
• Характеристики:
  • Материал: PTFE ( PFA / PFA coated) для химии; Нержавеющая сталь 316L для подогрева.
  • Вольтаж: var 24V - 240V AC/DC (Узнавать только при вскрытии или этикетке).
  • Поток: 0 - 2L/мин, Temp < 150C во всех секциях.
• Где встречается в основном? Очиститель, L90, «Спот-кулер», зона раздачи газа MESCOS.

Рекомендация:

Откройте коробку, посмотрите на физическую этикетку на самой детали. Там два ряда цифр:

1. Заводской номер (для магазина).
2. MFR / TEL PART (оригинальный).
3. Иногда PIN на виде разъема или нагревателе.

Наиболее близкий в моих базах аналог:

• TEL Part #: **020.. .** (Будет отличаться в первой цифре)
• Модели печей Tokyo Electron:
  • OHMI Typ 462 / 480
  • Протрессивные UNIGas P210

Если мне дадут правильное раздвоение информации (на издели: спираль, гибкий шланг или подогреваемую обвязку химиактива) — готова уточнить до запятой число флюсовых ников.