Tokyo Electron 2181-020017-11

Описание

Tokyo Electron 2181-020017-11 — это оригинальная запасная часть (компонент) для промышленного технологического оборудования Tokyo Electron, используемого в производстве полупроводников. Данный артикул относится к категории прецизионных деталей/узлов, применяемых в установках плазмохимического травления (etch), осаждения (CVD/PVD), термообработки или системах транспортировки пластин.

Компоненты с подобной маркировкой обычно представляют собой детали газораспределительных систем, узлов крепления, керамические/кварцевые элементы камеры, фитинги, датчики или механические части манипуляторов. Деталь поставляется как OEM-запчасть и предназначена для замены изношенных элементов при плановом обслуживании оборудования.

Важно: Tokyo Electron (TEL) не публикует полные спецификации на запасные части в открытом доступе — точное назначение детали подтверждается по сервисной документации конкретной установки. Приведённые ниже данные носят справочный характер.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 2181-020017-11 | | Категория | OEM запасная часть / компонент камеры | | Материал | Как правило — нержавеющая сталь, алюминий с покрытием, кварц или керамика (уточняется по документации) | | Область применения | Полупроводниковое производство (front-end / back-end) | | Совместимость | Установки TEL серий CLEAN TRACK, Telius, Tactras, UNITY, Trias и др. (уточняется по конкретной модели) | | Условия эксплуатации | Вакуум/плазма/агрессивные среды (зависит от узла) | | Страна производства | Япония |

Парт-номера

• Основной: 2181-020017-11
• Возможные родственные/сменные номера (кросс-референс): 2181-020017-** (модификации с суффиксами), а также аналоги в каталогах TEL с префиксами 2181-… — точный список замен требует сверки с сервис-мануалом TEL.

Совместимые модели

Однозначно указать модель без доступа к сервисной документации TEL невозможно, поскольку номер 2181-020017-11 относится к внутреннему каталогу запчастей. Предположительно совместим с установками:

• Tokyo Electron CLEAN TRACK (серии ACT, Lithius, Lithius Pro)
• TEL Telius (плазменное травление)
• TEL Tactras (системы CVD/etch)
• TEL UNITY / Trias (системы осаждения)
• TEL Alpha / Indy (оборудование для пластин 200/300 мм)

⚠️ Рекомендация: для подтверждения назначения детали, точных материалов, момента затяжки, регламента замены и полного перечня совместимых установок обратитесь к официальному дистрибьютору Tokyo Electron или в сервисную службу с указанием серийного номера вашей установки. Номер 2181-020017-11 в открытых источниках не документирован, поэтому приведённая информация является справочной и требует верификации.