Tokyo Electron 2908-600534-11

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики, парт-номера и информация о совместимости для блока питания Tokyo Electron 2908-600534-11.

Общее описание

Блок питания TEL 2908-600534-11 — это высоконадежный источник питания постоянного тока, разработанный для критически важных применений в полупроводниковом оборудовании. Он является частью системы электропитания платформы Telius (TEL-200) компании Tokyo Electron, которая используется в процессах травления (Etch).

• Основное назначение: Обеспечение стабильного и точного питания для источника высокочастотной (RF/ВЧ) мощности в плазметронной камере. От его работы напрямую зависит стабильность плазмы, а значит, и результаты процесса травления (равномерность, скорость, селективность).
• Ключевые особенности: Высокая стабильность выходного напряжения/тока, низкий уровень пульсаций, защита от перегрузок и короткого замыкания, мониторинг параметров и возможность дистанционного управления и диагностики через интерфейс связи с главным контроллером инструмента.

Технические характеристики (Типовые)

• Производитель: Tokyo Electron Limited (TEL)
• Парт-номер: 2908-600534-11
• Тип: Блок питания постоянного тока (DC Power Supply), часто используется как смещающий источник (Bias Supply) или для питания каскадов ВЧ-генератора.
• Входное напряжение: 200-240 В AC, 1- или 3-фазное (точные параметры зависят от конфигурации стойки).
• Частота входного напряжения: 50/60 Гц.
• Выходное напряжение: Регулируемое, обычно в диапазоне 0 до нескольких сотен Вольт DC (например, 0-350 В, 0-500 В или 0-1000 В — точное значение необходимо уточнять в мануале конкретного инструмента).
• Выходной ток: Регулируемый, обычно десятки Ампер (например, 0-20А, 0-50А).
• Мощность: Высокая, от нескольких кВт до десятков кВт.
• Интерфейс управления: Цифровой интерфейс (часто RS-485, RS-232 или аналоговые сигналы 0-10В) для связи с MESC (Module Equipment Server Controller) или главным компьютером установки. Управление включением/выключением, установка напряжения/тока, считывание статуса и ошибок.
• Охлаждение: Принудительное воздушное охлаждение с помощью встроенных вентиляторов.
• Установка: Предназначен для монтажа в стандартную 19-дюймовую стойку (шкаф) оборудования TEL.

Парт-номера и связанные компоненты

Номер 2908-600534-11 является основным идентификатором узла (assembly). В его состав могут входить или быть связаны следующие компоненты:

1. Основной блок питания: Сам модуль с этим номером.
2. Модуль интерфейса/управления: Плата, отвечающая за коммуникацию (например, 2908-600534-21, -31 и т.д., где последние цифры меняются в зависимости от ревизии или конкретной функции).
3. Силовые модули/трансформаторы: Внутренние компоненты (например, 2908-600534-01, -02).
4. Кабели и межсоединения:
   • Силовые кабели (вход/выход).
   • Сигнальные кабели для связи с MESC (например, кабель с конкретным разъемом).
   • Кабели датчиков (ток, напряжение).
5. Вентиляторы/система охлаждения: Сменные вентиляторы с собственными номерами.
6. Предохранители и защитные элементы.

Важно: Для точного заказа запасных частей всегда необходимо использовать полный парт-номер 2908-600534-11 и, желательно, серийный номер самого устройства. Могут существовать совместимые версии с суффиксами (Rev. A, B, C и т.д.).

Совместимые модели и применение

Данный блок питания является оригинальным компонентом (OEM) и предназначен для установки в конкретные модели полупроводникового оборудования.

Основные совместимые платформы и модели:

• TELIUS Series (TEL-200 Platform):

  • TELIUS SCCM (Single Chamber Cleaning Module)
  • TELIUS DSCC (Dual Space Coupled Chamber)
  • TELIUS DRM (Dual Chamber Processing Module)
  • TELIUS P2L (Photoresist Processing Line) — для определенных модулей
  • TELIUS ACE (Advanced Cleaning Etch)
  • Другие камеры травления на базе платформы Telius для процессов SiO2, SiN, поликремний, алюминий и др.

• Другие платформы TEL: Может использоваться в некоторых модификациях или стойках питания более старых или смежных платформ, таких как:

  • Tactras (TEL-300)
  • Trias (TEL-500) Внимание: Совместимость с этими платформами не является прямой и требует проверки по электрическим схемам (Schematics), руководствам по запчастям (Parts List) или консультации с инженером TEL. Ключевой фактор — идентичность электрических характеристик и интерфейса управления.

Совместимость с не-TEL оборудованием: Практически нулевая. Блок имеет уникальные разъемы, протоколы связи, крепления и рассчитан на работу только в экосистеме TEL.

Примечания для инженеров и закупщиков

1. Взаимозаменяемость: Модуль 2908-600534-11 может быть взаимозаменяем с другими ревизиями (например, -11A, -11B), но это необходимо проверять в официальной документации TEL (Engineering Change Notice - ECN).
2. Поиск аналогов: Прямых сторонних аналогов (не-OEM) не существует. Альтернативой могут быть только восстановленные (refurbished) или совместимые (compatible) блоки от специализированных ремонтных компаний, которые гарантируют полную функциональную и интерфейсную совместимость.
3. Документация: Для ремонта и диагностики необходимы сервис-мануал (Service Manual) и электрические схемы (Schematics) для конкретной модели установки (например, TELIUS SCCM #XXXX).
4. Безопасность: Работа с данным блоком питания требует высокой квалификации из-за высоких напряжений и его интеграции в сложную промышленную систему. Все работы должны проводиться с соблюдением правил LOTO (Lockout-Tagout).

Для получения самой точной и актуальной информации рекомендуется обращаться:

• К официальным сервисным инженерам Tokyo Electron.
• К проверенным поставщикам восстановленных запчастей для полупроводникового оборудования.
• К внутренней технической документации вашего предприятия на установку.