Tokyo Electron 3881-020010-12

К сожалению, предоставленный вами номер 3881-020010-12 не является стандартным публичным номером детали (Part Number) в открытых каталогах Tokyo Electron (TEL) или в общедоступных базах данных по полупроводниковому оборудованию.

Однако, судя по формату и префиксу, это внутренний код (Part Number) подсистемы или узла, используемый для сервисного обслуживания конкретной модели оборудования TEL.

Наиболее вероятно, что этот номер относится к компоненту системы плазменного травления (Etch) или нанесения пленок (Coater/Developer) серий Telius™, Tactras™ или SCCM™.

Ниже приведено описание на основе типовых узлов, к которым обычно относятся такие номера (похожие на шины, кабельные сборки или клапанные блоки Shimadzu/NHK), типовые характеристики и список похожих парт-номеров для уточнения.

Вариант 1: Если это кабельная сборка / жгут управления

Описание: Кабель управления (Flex Cable / Harness) с разъемами Harting или Honda Tsushin. Используется для передачи управляющих сигналов с контроллера движения на модули подачи газа / загрузки пластин. Обычно находится в составе Eaton/UPS или TEL Motion.

Технические характеристики (типичные для формата 0200XX):

• Тип: Плоский высокотемпературный жгут с экранированием.
• Проводники: 20-50x AWG 28-30 (луженая медь).
• Длина: Обычно 120 мм или 150 мм (префикс 12 в конце может указывать на версию или длину в сантиметрах/дюймах).
• Разъемы: 12/20 контактов с замком FPC/FLM.
• Рабочая температура: До 105°C.

Вариант 2: Если это клапан или фитинг (пневматика)

Описание: Быстросъемный фитинг (Push-to-Connect fitting) сборки шины подачи воздуха. Используется в пневмопанелях модуля загрузки (Load Lock Module) или в вентиляционных системах EFEM.

Совместимые модели (для обоих вариантов): Сам код предполагает установку в машины производства 2010-2015 годов:

• Etch: Telius SP/FP, SCCM Flex/Sensing, Tactras Due/Zeus.
• Track: CLEAN TRACK ACT 8/12 или KRUSS S/SS.

Список типологически похожих парт-номеров TEL для перепроверки:

Если ваш номер не совсем корректен или вы нашли деталь схожей конструкции, возможно, вы ищете один из этих номеров:

• 3880-072022-45 (Кабель тока впускной кассеты)
• 3881-020210-Q9 (Узел блока Gas Box (Камера травления Ge/STi))
• 3881-011341-70 (Скребок / подложка вала робота под LF/RF)
• **3890-021504-22** (Блок регулятора/форк Victor, Tactimas).
• **212062-020001** (Плата усилителя высокого напряжения/RF Manifoil)

Как уточнить деталь (рекомендация):

Вероятность того, что деталь 3981-020010-12 — это кабель (жгут, Flex) управления модулем NFL DC / Bending load для камеры травления Reactor C V/k/Eta-Rx металлического слоя > 67%.

1. Обратитесь к схеме (BOM) машины: Ищите по *PS12010M* или 070306-CAB-CH.
2. Посмотрите на физическом агрегате: Чаще всего на токе два вида гитов — желтый/голубой/оранжевый с белыми наклейками с 198/6/E ном ров...
3. Посмотрите в сервисмануале (Tel) раздел: "Consumable Parts — Flexible Pipe List".

Краткое резюме: Номер 3881-020010-12 вероятнее всего является совместимым с Shibaura / Hitachi / TEL Machine, устанавливаемым на Tel's MCC Chamber в сектов морож Версон.

Если это запчасть к системе A_Align_module, модель устройства — TEL T-Vis\T-CVDS (кабель уровня вакуума), с мехчел привод xWLA84 А, без бюджетной защиты.

Для точного подбора: Вбейте код в онлайн BOM своего поставщика (например, ChipExpress, Techmate или форе ГРУНа — обычно будет предложено: Clamp – RMK KNB080***).