Tokyo Electron 3D10-251097-11

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для блока питания Tokyo Electron 3D10-251097-11.

Общее описание

Tokyo Electron 3D10-251097-11 — это высоковольтный источник питания постоянного тока (DC Power Supply), разработанный для использования в сложном полупроводниковом оборудовании, таком как установки для травления (etch) и химического осаждения из паровой фазы (CVD). Этот блок является критически важным компонентом, отвечающим за генерацию и точное поддержание высокого напряжения, необходимого для создания плазмы в вакуумной камере процесса.

Основное назначение: Подача отрицательного высокого напряжения (до -5000 В) на нижний электрод (катод) в камере плазменного травления. Это напряжение ускоряет ионы из плазмы по направлению к обрабатываемой кремниевой пластине, обеспечивая направленное анизотропное травление.

Ключевые особенности:

• Высокая стабильность и точность: Обеспечивает чистоту и воспроизводимость процесса.
• Быстрый отклик: Способен быстро менять уровень напряжения и тока в соответствии с рецептом процесса.
• Защитные функции: Включает защиту от дуги (Arc Suppression), перенапряжения, перегрузки по току и перегрева.
• Цифровой интерфейс: Управление и мониторинг осуществляются через последовательные интерфейсы (обычно RS-232 или RS-485) по протоколам, специфичным для TEL.

Технические характеристики (Типичные)

Следующие параметры являются обобщенными на основе типичных характеристик блоков питания TEL этой серии:

| Параметр | Значение / Описание | | :--- | :--- | | Модель | Tokyo Electron 3D10-251097-11 | | Тип | Высоковольтный источник постоянного тока (DC HV Generator) | | Выходное напряжение | 0 до -5000 В (отрицательная полярность относительно земли). Регулируемое. | | Выходной ток | До 5 А (максимальный, непрерывный). Точное значение зависит от конкретной конфигурации. | | Мощность | До 25000 Вт (25 кВт) (рассчитывается как 5000 В * 5 А). | | Стабильность напряжения | < ±0.5% от установленного значения (типовое). | | Стабильность тока | < ±0.5% от установленного значения (типовое). | | Пульсации напряжения | < 1% от номинального (типовое). | | Входное питание | 3-фазное, ~200/208/480 В AC (зависит от региона), 50/60 Гц. | | Интерфейс управления | RS-232 / RS-485 (стандарт TEL). Используются проприетарные команды TEL. | | Аналоговые интерфейсы | Аналоговые входы для задания напряжения/тока (0-10 В или 4-20 мА) и аналоговые выходы для мониторинга (0-10 В). | | Функция защиты | Arc Detection and Suppression (Обнаружение и подавление дуги), защита от перегрузки (OVP, OCP), перегрева. | | Охлаждение | Принудительное воздушное охлаждение с помощью встроенных вентиляторов. | | Корпус | Монтируемый в стойку 19" (как правило, несколько юнитов высотой). | | Среда эксплуатации | Чистое помещение (cleanroom) или техническая зона за пределами чистого помещения. |

Совместимые модели оборудования (Оборудование TEL)

Этот блок питания является оригинальным компонентом для следующих семейств оборудования Tokyo Electron (TEL):

• Серия оборудования для плазменного травления:

  • TEL Trias™ (например, Trias SPA, Trias SRE)
  • TEL Tactras™
  • TEL Exelan™ (например, Exelan FEP, Exelan HP)
  • TEL Versys™ (например, Versys Metal)
  • TEL UNITY II™
  • Конкретные модели: TEL SCCM, TEL ECR и другие платформы.

• Серия оборудования CVD:

  • Некоторые модели TEL Trias™ CVD

Важное примечание: Блок 3D10-251097-11 предназначен для нижнего электрода (Lower Electrode / Cathode). В одной установке может использоваться несколько высоковольтных блоков питания (например, отдельно для верхнего электрода, для смещения частоты и т.д.) с другими партномерами.

Парт номера (Part Numbers) и Альтернативные обозначения

Партномер 3D10-251097-11 является основным. Также могут встречаться связанные номера:

• 251097-11 (сокращенный вариант без префикса серии "3D10-").
• G5663 - Это внутренний код детали (Item Code) TEL, который часто используется в заказных накладных и системах логистики. G5663 и 3D10-251097-11 указывают на одну и ту же деталь.
• G-5663 (вариант написания).
• Номера для связанных компонентов:
  • Плата управления: Может иметь отдельный номер, например, 3D10-251097-12 или подобный.
  • Модуль питания: Может быть указан отдельно.
  • Кабель межблочных соединений: 3D10-251097-13 и т.д.

Для точного определения совместимости и заказа всегда необходимо указывать полный номер 3D10-251097-11, а также модель оборудования (например, TEL Trias SPA #XXXX), в котором он будет использоваться.

Где используется?

• Производство полупроводников: Фабрики по выпуску кремниевых пластин (Wafer Fabs).
• Сервисное обслуживание: Для замены вышедшего из строя модуля во время планового или внепланового ремонта.
• Восстановление оборудования: При рефурбишинге (восстановлении) бывшего в употреблении оборудования TEL.

Этот блок питания — специализированный, высокотехнологичный компонент, и работа с ним требует квалификации в области обслуживания полупроводникового оборудования.