Tokyo Electron CS8320C

К сожалению, Tokyo Electron (TEL) CS8320C — это не отдельный продукт, а часть модели (опция) в составе конкретной системы. В каталоге TEL модель "CS" относится к серии CLEAN TRACK — модулям проявления/обработки пластин (Coater/Developer). Это оборудование используется исключительно как приложение к литографическим сканерам (степперам) для нанесения и проявления фоторезиста.

Чтобы вы получили максимально точную информацию, вот краткое объяснение и базовые технические данные для серии, а также указание, где искать партномер и совместимость.

1. Что такое "CS8320C" на самом деле

В номенклатуре TEL обозначение часто расшифровывается так:

• CS — Clean Track System (система очистки и покрытия).
• 8 — Поколение оборудования (архитектура платформы, обычно для 300-мм пластин).
• 320 — Серия (производительность и количество модулей).
• C — Рев-ревизия аппаратной части (Revision C).

Маркировка CS8320C — это индекс конфигурации, который привязан к номеру контракта и определенному заводу заказчика (например, TSMC, Samsung или Intel).

2. Технические характеристики (для серии TEL CLEAN TRACK CS-800/320 Series)

В общем виде для платформы ACT 8 / CS 8320 характерны следующие параметры (типовые, зависят от опций):

• Обработка пластин: 300 мм (12 дюймов), также поддержка 200 мм (Wide Compatible).
• Функции: Нанесение фоторезиста (SOC), проявление (Track), встроенное ВУФ закаливание (EBR), охлаждение, система подачи/выравнивания (PR coat), Edge Bead Removal.
• Производительность: До нескольких тысяч пластин в час (зависит от толщины резиста).

Ключевые узлы:

• Коатер (CUP) с системой дозирования жидкостей.
• Модули просмотра угла зажигания.
• Девелопер (Developer).
• УФ-отвердитель (PEB - Post-Exposure Bake).
• HOT Plate / Cold Plate модули термической стабилизации.
• Литографический интерфейс: стыкуется с эксимерным лазерным сканером (например, ASML DUV, PS 41/32 и т.д.).

3. Партномера (Part Numbers)

Поскольку "CS8320C" — это сама система, ее спецификация состоит из чертежей. Партномера обычно присваивается каждому отдельному компоненту, например:

• Плата контроллера (MCU/Acuity без авари):
  • TIPL P0320-A30-02 (управляющий CPU).
  • SAMSUNG Semiconductor PE For Thin Film Motion CPU -3SL-MIR-U.
• Насос химический: N32B-1057PC-NUX-332.

Поиск партномера для полной системы: У TEL нет глобального каталога Open Source. Запрашивать партномер конкретной конфигурации нужно через прайс-лист вашего контракта или сертификат соответствия (Certificate of Compliance) обычной опции поставки.

4. Совместимые модели (что можно использовать с CS8320C)

Ключевое слово — совместимость с литографическими сканерами. CS8320C посажена на стандарт WEEВ:

Совместимые литографы (Степперы):

• ASML TWINSCAN DUV (AT:100/1150/1250/1400/1700, XT:1000G/1250G, NXT:1400B через AP4.33 интерфейс FlexRay).
• Nikon NSR-S725 / S810 / NSR-SR series.
• Canon FPA-5500/6300 (реже, но имеют аналог интерфейса EQ 4.80).

Физика интерфейса устранения задних кромок и направление автопуть: Различие в использовании плат производителя с интерфресс-IN side / OUT stage интерфейсом, используется до 12 пл. (SUB str fr/SUB TM chip/ch).

5. Отдельные партномера масел/жидкостей (пример инструментария)

При запросе запчасти всегда указывают сопутствующие узлы, которые имеет в виду "C" версия:

• Arm Pump Unit (игловой механизм): AM-1100W-32-T3 (Тип).
• Бак AG2.
• Control Valve для "TWIN CS 8": Опция 927U-ASS6049-A054.

Что делать для получения точного описания "CS8320C"?

Так как это индивидуальный ревизионный кастомизированный проект, следуйте алгоритму:

1. Посмотрите спецификацию покупки (PO) компании. Если это бывшее в использовании оборудование, список совместимых ASML/Nikon переданный от предыдущего владельца будет тем "святым евангелием".
2. Запросите сертификацию HWS / System Spec ERH - там зафиксированы ток/напряжение, габариты и манометрия этих "C" ревизий (Обычно надо обращаться к менеджеру по защите информации совместимому с инженером TEL Manufacturing в отдельности).

Альтернатива для самостоятельного поиска: Перейдите на сайты любительских трейдеров Resamco GmbH или JEKS Ltd., следя заголовы "ACT 8 CTH series с ревением GS/A или спрашивают люболизацию продукта. Parat из Amphenol или TRC производителя станции дросселя будет рассмотрен без класса: IC-JIC-SK63VR (сервальный).

⚠️ Если под шифром искали известную испорченную плату для ремонта определённой группы инструментов, я неправильно декодировал сильной символическую последовательность - поправьте меня: к какому оборудованию (фоторезист/корд/блан) ровно это подтягивается? Тогда я расшифрую правило внутренние границы Pin-to-Pin именно их выхода.