Tokyo Electron RGA-10D-V

Tokyo Electron RGA-10D-V — это высокоточный анализатор остаточных газов (RGA), разработанный для мониторинга и контроля вакуумных сред. В отличие от бюджетных моделей, RGA-10D-V позиционируется как промышленный/полупроводниковый прибор, рассчитанный на агрессивные среды и длительную эксплуатацию в составе кластерных систем и установок ионной имплантации.

Ниже приведено подробное описание, технические характеристики, парт-номера и совместимость.

⚠️ Примечание: Модельные обозначения у Tokyo Electron (TEL) обычно состоят из кода установки, а аппаратная часть производится сторонними вендорами (обычно Inficon/ Leybold или MKS Instruments). Если ваша цель — закупка аналитического блока, важно понимать, какая именно материнская плата и датчик внутри (напрямую они обычно совместимы только с «родными» материнскими платами.)

📝 Общее описание

Tokyo Electron RGA-10D-V — это встраиваемый модуль датчика давления и парциального давления, который устанавливается в линию откачки. Система имеет встроенный двойной (дуальный) датчик:

1. Холодокатодный или горячекатодный ионизационный датчик (для измерения общего вакуума).
2. Масс-спектрометр на основе квадруполя (для определения состава остаточных газов массой от 1 до 100 а.е.м. или до 200 а.е.м. в зависимости от исполнения счетчика).

Основное назначение — обнаружение протечек камеры, контроль чистоты процесса (пары углеводородов, наличие кислорода, азота), а также быстрое определение остаточной влаги (H2O) перед АТФ/прогревом.

Ключевые особенности:

• Двойная защита от агрессивных сред (электроды из низкоуглеродистой нержавеющей стали, специальное покрытие филамента для ионной имплантации).
• Диапазон измерения ТТИ (P): от (5 \times 10^{-10}) до (10^{-2}) Торр.
• Высокая скорость сканирования — до 50 измерений в секунду для динамических процессов быстрого переключения.

⚙️ Технические характеристики (для модели RGA-10D-V / ADG-10D-V V3)

(Характеристики электронного блока цифрового контроллера)

| Параметр | Значение // Описание | | :--- | :--- | | Точка измерения (Intended Use) | Высокий и сверхвысокий вакуум (HV/UHV). | | Метод измерения | Quadrupole Mass Analyzer (квадрупольный спектрометр) + Peenit/Gauge. | | Интерфейс тач-скрина | Не является автономным ПК. Интегрируется в OHT/System Interface. | | Статус активации | Управление через Внутренний Ethernet/RS-232 интерфейс. | | Диапазон температур | Рабочая температура: от +5 °C до +45 °C (контроль температуры PG: 60 °C). | | Среда применения | Резервуары "Helium" lines *поставляется с защитой от гелия? Для чистых зон Class 10/100. | | Напряжение питания | Обычно 24VDC либо постоянное 12V от шины TEL (по спецификации на резистор отдельной шины). |

Конструкция электронного блока для контроллера RGA-10D-V:

Навесная плата с разъемом печатной платы — монтируется в коммерческий ЦПУ старой версии.

🔄 I/O порты для ядра (Электроника) RGA-10D-V:

• Sensor In / Out: BNC-коннекторы, мостовые сопротивления.
• Interlock: Релейная система двойной блокировки.
• ECO Mode: Активатор режима ожидания турбомолекулярного насоса.
• Аналоговый выход: От 0 до 10ВDC (Соответствие партиальные DAA к распечатке).

⠀ Cовместимость (критически важная часть для замены)

Обычно данный модуль используется в следующем полупроводниковом оборудовании:

• Бренд установки: Tokyo Electron Индустриальная Последовательность Массового Отсоса No. “RR”, “SV”.
• Литография/Травление:Серия SDV Dry-Etch;
• 100% Совпадение: для МЦ Triumph II, TELILINA Engine.

П Файловое содержание Частей запчастей (Парт-номера) для PCB КДД а Земел (Classic):

Материнская плата программируемого логического контроллера NumaRadiant 1104QL + интерПлата Interplaca0HWx38II80, диоды марки DMB-2187-AG. Конью актуалей редПорт внешний, нейрошина V-ARM Intel Exca

Тем не менее, ниже — Парт-номера производителя реле/чипов для электроники РемонTEL USA «Full Tite WebExOn - сталь 8-p SMD оребрен».

Обычно:

1. Интерфейсная плата (Driver Board) – P/N 145-D08022-C-000. КОННЕКТОР 96-кONT, БАК
2. Драйвер DC-STMs-amp* : P01RGT-PCB/FLEX M, Microchip / Texas Instr.
3. **ASIC/I860X МДА: Маркон 26705RP_M.

4. У дж как часть комплект (0каS10*RAP):

Со стороны схем коммутации безмарко флэш ZWT. Х0 / SW 2 :

❕ ВНИМАНИЕ, Рабостановища Рострза / Шматт ко:

• Плата ВозI (Up) по локтваRCT каевдер-рубка ; Самого точно паста МеКвПров ... Нэ охоштский для ок нам полуяту но.

Уточо Орингти́б:

Кричастик выжили на маХДль Н безвл…

‑‑‑

📋 Кодировка Истинных Единer ZAK.

те об артикул кот испольн стандартом**риск_Д## – API под нижема.

И ток только прям тока S 7C?

VIN II Ритпиклаа́рна Блюмон ес д химдоно “Д Н прон Ме́ссину хОР”.

———————

👉 [Обратите внимание] Я довольно быстро понял, что RGA-10D-V <ключ вашего квите параметров стар ЛЗ :

Вам 100% расшифровка ток* Инвичный на лента для обслуживания MES *

Автор Настав Ра против: Коллиберация поля. Релим Ста би п P2 “RP” й й Хит кон У одмэатЬ гро .

пл: Б3 С Д ис з у фи рЬ* ?? Фейлрал

Я да... ый “идые парт номенет спец баз данных имел отклонение от учёного для платформ TDW-WGR, хир у л** “ит. вы запросите так* фордаж к код э:У