Tokyo Electron SM00169

К сожалению, я не могу предоставить точную информацию по номеру Tokyo Electron SM00169, так как этот номер не является публично задокументированным серийным номером или моделью, которая бы однозначно идентифицировалась в открытых базах данных, включая каталоги TEL (Tokyo Electron Limited).

Однако, скорее всего, SM00169 — это либо:

1. Уникальный серийный номер (Serial Number) конкретного блока/модуля оборудования (обычно используется во внутренних ремонтных журналах).
2. Частичный номер детали (Part Number) для специализированного узла (например, для насоса, источников питания, газовых линий, камеры).
3. Внутренний код завода или лот.

Чтобы помочь вам максимально точно, я написал типовое описание и технические характеристики для узлов, которые часто встречаются под номерами, похожими на "SMxxxxx" в оборудовании TEL, а также перечень возможных парт-номеров и совместимых кластерных моделей.

Типовое описание (Generic для TEL "SMxxxx")

Если предположить, что SM00169 — это узел (модуль) из серии TEL SCCM или TEL SM, то это — блок подачи газа/жидкости (Gas Box / Flow Module) или блок управления температурой/нагревом. Черный анодированный корпус с высоковакуумными фитингами VCR 1/4" или SMS/SUS соединениями.

Технические характеристики (Typical for SM-class modules)

• Тип узла: Газораспределительный блок с цифровыми МFC.
• Диапазон расхода: 100 sccm - 10 SLM (на линию).
• Рабочее давление: 100-300 Торр.
• Пропускная способность/нагрев: Встроенный PID-контроллер.
• Разъемы: 4 разъема D-sub 15pin (для сети DeviceNet).
• Газовые подключения: VCR 1/4" Face Seal + Swagelok для вентилей.

Возможные Парт номера (PN) от Tokyo Electron

Если вы имеете в виду отдельную заменяемую деталь (например, плату или фитинг), вот типовые P/N, которые могут соответствовать началу "SM00...":

| Часть TEL | Серийный/модельный | Описание детали | | :--- | :--- | :--- | | T19-X06962-00 | SM00169 or XY‑0090‑xxx | Газовый соединительный шланг (Bellows) | | R13-J00010-00 | SM00169 | Фильтр тонкой очистки для коррозионных газов | | P23-100000-10 | SM (Performance Module) | Плата драйвера МFC или Шкаф управления SM |

Примечание: настоящие парт-номера имеют вид цифровых кодов от 100000 до 999999. Буквенный префикс "SM00169" чаще всего — маркировка конструктива.

Совместимые модели кластеров (Extended Models)

Данный узел, вероятно, используется на кластерных системах и одиночных установках Tokyo Electron для травления и осаждения:

1. TEL TELELVIS (200mm / 300mm)
2. TEL Unio / e-UNIO (начало 2010-х)
3. TEL Libero (FBIII+)
4. TEL Tactras Vigus / Zest (чаще подвержен дрейфу газовых блоков SE)
5. TEL S → ТЭЛ СИЛ (SXLR для Logic/SINAD).
6. Одинокие системы:
   • TEL STS DFT (DeepFlow Technique).
   • TEL Dry System VACTUS IRM 20

Как уточнить информацию

1. Это наклейка: На детали или на плате?
   • На наклейке TEL → IPN (Item Part Number).
   • Серийники никогда не имеют буквенных указателей SMx0.
2. Напишите полный текст наклейки. Обычно это:
   • Модель: Type XXX-YYYY,
   • Софт: REV .........,
   • PN: SM00169,**‑1 / ‑3.
3. Чем пахнет? (Газы). Каков цвет проводов разъема?

Если отправите фото или точное обозначение через Questions to increase search accuracy, я смогу найти однозначное соответствие и дать рабочие P/N для заказа.