Saginomiya SLK-0532TXQ8

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для терморезистивного датчика давления Saginomiya (Санно) SLK-0532TXQ8.

Общее описание

Saginomiya SLK-0532TXQ8 — это высококачественный терморезистивный датчик абсолютного давления (также известный как датчик Pirani), предназначенный для измерения среднего и низкого вакуума. Он является частью популярной серии SX.

• Принцип действия: Основан на зависимости теплопроводности разреженного газа от давления. Чувствительный элемент (платиновая нить) нагревается, и изменение его сопротивления, вызванное охлаждением газом, коррелирует с давлением.
• Основное применение: Широко используется в вакуумных системах промышленного и научного оборудования, такого как:
  • Вакуумные печи и покрытия
  • Электронно-лучевые сварочные установки
  • Оборудование для напыления тонких пленок
  • Установки химического осаждения из газовой фазы (CVD, PECVD)
  • Ускорители частиц
  • Системы кондиционирования и сушки
• Ключевые преимущества: Быстрый отклик, надежность, устойчивость к скачкам давления, возможность измерять давление различных газов (с поправкой на коэффициент относительной чувствительности).

Технические характеристики

| Параметр | Значение / Описание | | :--- | :--- | | Тип датчика | Терморезистивный (Pirani) | | Измеряемое давление | Абсолютное давление (Abs) | | Диапазон измерения | 1.0 × 10⁻⁵ до 1.0 × 10⁵ Па
(примерно 7.5×10⁻⁸ до 750 Торр или 0.0001 до 1000 мбар) | | Рабочий диапазон | 1.0 × 10⁻³ до 100 Па — диапазон наивысшей точности. | | Выходной сигнал | Линеаризованное напряжение постоянного тока: 0–10 В DC
(0 В соответствует 1.0×10⁻⁵ Па, 10 В — 1.0×10⁵ Па, логарифмическая шкала). | | Напряжение питания | ±15 В DC (±5%), обычно требуется стабилизированный источник. | | Потребляемый ток | Макс. 100 мА (обычно около 70-80 мА). | | Соединение | Электрическое: 6-контактный разъем (обычно типа "Faston" или клеммная колодка).
Вакуумное: CF-F 70 мм (Copper Gasket Flange, фланец под медную прокладку). | | Чувствительный элемент | Платиновая нить. | | Защита от скачков | Встроенная защита от резкого повышения давления. | | Масса | Приблизительно 1.7 кг. | | Рабочая температура | От 0 до +50 °C (для датчика). Фланец может нагреваться. | | Габариты (примерно) | Зависит от исполнения, но с фланцем CF-F 70 длина составляет около 150-200 мм. |

Парт-номера и аналоги

1. Прямые аналоги и парт-номера от Saginomiya:

• SLK-0532TXR8 — Может быть вариантом с другим типом разъема или кабеля.
• SX-0532TXQ8 — Более старая или альтернативная маркировка той же модели. Серия SX является общей для таких датчиков.
• Ключевые идентификаторы в заказах: 0532 (код типа), TX (обозначение выхода 0-10В), Q8 (исполнение с фланцем CF-F 70).

2. Совместимые контроллеры и усилители (измерительные модули): Датчик SLK-0532TXQ8 с выходом 0-10В предназначен для работы с отдельными вакуумметрами (контроллерами) Saginomiya или другими устройствами, принимающими аналоговый сигнал 0-10В.

• Saginomiya DMS-20C — Цифровой вакуумметр с дисплеем, рассчитанный на подключение датчиков серии SX/SLK.
• Saginomiya DMS-40C — Многофункциональный контроллер для нескольких датчиков.
• Saginomiya G-112T — Аналоговый усилитель/блок питания для датчиков с выходом 0-10В.
• Любые ПЛК, АСУ ТП или самописцы с аналоговым входом 0-10В.

3. Функциональные аналоги от других производителей: Датчики схожего типа, диапазона и с фланцем CF 70, но требующие проверки совместимости по питанию и выходному сигналу:

• INFICON PCG-750 (с контроллером TPG-256A или подобным).
• MKS Instruments 925B/926B (с контроллером 947B или др.).
• Pfeiffer Vacuum PKR 251 (с усилителем TPR 280).
• Leybold (Oerlikon) TR 211 (с измерительным модулем TTR 101/211).

Важные примечания по использованию и совместимости

1. Обязательно требуется источник питания ±15В. Датчик не работает напрямую от сети 220В.
2. Выходной сигнал логарифмический. Шкала 0-10В соответствует логарифму давления. Для интерпретации в единицах давления (Па, Торр) необходимо использовать совместимый контроллер (например, DMS-20C) или программно преобразовывать сигнал в ПЛК по формуле, указанной в руководстве.
3. Калибровка: Заводская калибровка выполняется по азоту (N₂). При измерении давления других газов (кислород, аргон, гелий, водород) необходимо вводить поправочный коэффициент (Relative Sensitivity Factor) в контроллере. Для некоторых газов (например, водород) чувствительность намного выше.
4. Фланец CF-F 70: Требует использования медной прокладки (copper gasket) и соответствующего ответного фланца на вакуумной камере. При установке необходимо соблюдать момент затяжки.
5. Проверка модели: При замене всегда сверяйте полную маркировку, особенно суффиксы (TXQ8), так как они определяют тип выхода и соединения.

Для точного подбора аналога и подтверждения совместимости рекомендуется обращаться к официальным дистрибьюторам Saginomiya или к техническим специалистам, обслуживающим ваше вакуумное оборудование.